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靶材如何进行分类和应用,石墨靶材会在哪个分类和应用领域

时间:2023-06-29浏览次数:1270

    靶材这种产品很多人听了,都应该会很陌生,而靶材的应用领域相当广泛,如半导体、显示面板、电子、光学等,而靶材是有不同材料的,像石墨靶材、金属靶材、陶瓷靶材,不同材料的靶材在应用领域上不同,接下来看看靶材如何进行分类和应用,石墨靶材会在哪个分类和应用领域。


    靶材限制了薄膜的物理机械性能,影响涂层的质量。因此,靶材的质量评价比较严格,主要需要满足以下要求:


    1、质量低:纯度高,靶材纯度影响薄膜的均匀性。


    2、密度:高密度靶材具有导电性、导热性好、强度高等优点。该靶材用于镀膜时,溅射功率小,沉积速率快??,膜层不易破裂,靶材寿命长,溅射薄膜电阻率低,透过率高。


    3、分布均匀:组织结构均匀。靶材材料的均匀成分是确保一致的涂层质量的关键因素。


    4、粒径小:靶材晶粒尺寸越细,溅射薄膜的膜厚分布越均匀,溅射速度越快。


    制造工艺


    目前,靶材制造主要有铸造和粉末冶金两种。


    粉末冶金法:


    将一定成分比的合金原料熔化,注入铸锭,然后粉碎。优点是靶材成分均匀。缺点是密度低。由于杂质含量高等原因,常用的粉末冶金工艺有冷压、真空热压和热等静压。


    铸造方法:


    这是一种将一定成分比的合金原料熔化,将合金溶液倒入模具中制成铸锭,后面通过机械加工制成靶材,然后在真空中熔化铸造的铸造方法。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼、真空电子冲击熔炼等。优点是靶材杂质含量(特别是气体杂质含量、低、密度高、可大规模生产。缺点是熔点和密度相差较大。在两种或两种以上大金属的情况下,通过普通的精炼方法很难获得成分均匀的合金靶材。


    靶材分类


    根据不同材质分类,可分为00d100金属靶材、陶瓷(氧化物、氮化物等、靶材和合金靶材。


    根据形状不同可分为矩形靶材、圆形靶材、圆柱形靶材、空心旋转管靶材和异形靶材。


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    应用领域


    光学记录靶材:


    1、相变盘记录薄膜:硒化碲靶材、硒化锑靶材、锗锑碲合金靶材、锗碲合金靶材等。


    2、磁光盘记录薄膜:镝/铁/钴合金靶材、铽/镝/铁合金靶材、铽/铁/钴合金靶材、氧化铝靶材、氧化镁靶材、氮化硅靶材等。


    3、CD反射膜:铝靶材、铝钛合金靶材、铝铬合金靶材、金靶材、金合金靶材等。


    4、光盘保护膜:氮化硅靶材、氧化硅靶材、硫化锌靶材等。


    半导体领域:


    1、电极及布线膜:铝靶材、铜靶材、金靶材、银靶材、钯靶材、铂靶材、铝硅合金靶材、铝硅铜合金靶材等。


    2、存储电极薄膜:钼靶材、钨靶材、钛靶材等;


    3、粘合膜:钨靶材、钛靶材等。


    4、电容器绝缘膜:锆钛酸铅靶材等。


    显示靶材:


    1、透明导电膜:氧化铟锡靶材、氧化锌铝靶材等。


    2、电极布线膜:钼靶材、钨靶材、钛靶材、钽μm靶材、铬靶材、铝靶材、铝钛合金靶材、铝钽合金靶材等。


    3、电致发光薄膜:硫化锌掺杂锰靶材、硫化锌掺杂铽靶材、硫化钙掺杂铕靶材、氧化钇靶材、氧化钽靶材、钛酸钡靶材等。


    磁记录靶材:


    1、垂直磁记录薄膜:钴铬合金靶材等。


    2、硬盘用薄膜:钴铬钽合金靶材、钴铬铂合金靶材、钴铬钽铂合金靶材等。


    3、薄膜磁头:钴钽铬合金靶材、钴铬锆合金靶材等。


    4、人造晶体薄膜:钴/铂合金靶材、钴/钯合金靶材等。


    其他应用靶材:


    1、装饰膜:钛靶材、锆靶材、铬靶材、钛铝合金靶材、不锈钢靶材等。


    2、低电阻膜层:镍铬合金靶材、镍铬硅合金靶材、镍铬铝合金靶材、镍铜合金靶材等。


    3、超导薄膜:钇/钡/铜/氧靶材、铋/锶/钙/铜/氧靶材等;


    4、工具镀膜:氮化物靶材、碳化物靶材、硼化物靶材、铬靶材、钛靶材、钛铝合金靶材、锆靶材、石墨靶材等。


    综上所述,可以看到不同靶材,可以按材料区分,可以按形状区分,应用的领域有半导体、 显示、光学记录、光学记录等,像石墨靶材分类在其它应用领域。